ISO 25178-603:2025

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques des instruments à interférométrie à glissement de franges (PSI) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.