IEC 62047-32:2019

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 32: Méthode d’essai pour la vibration non linéaire des résonateurs MEMS
L’IEC 62047-32:2019 spécifie la méthode d’essai et les conditions d’essai pour la vibration non linéaire des résonateurs MEMS. Les énoncés du présent document s’appliquent au développement et à la fabrication des résonateurs MEMS.
OEN:
IEC
Langue:
French
Code(s) de l'ICS:
31.080.99
Statut:
Publié
Date de Publication:
2019-01-23
Numéro Standard:
IEC 62047-32:2019