IEC 62047-22:2014

L'IEC 62047-22:2014 spécifie une méthode d'essai de traction en vue de mesurer les propriétés électromécaniques des matériaux des systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electromechanical Systems) de couches minces conductrices collés sur des substrats souples non conducteurs. Les structures en couches minces sur des substrats souples sont largement utilisées dans les MEMS, les produits grand public, et les électroniques montés sur support souple. Le comportement électrique des couches sur substrats souples diffère de celui des couches et substrats indépendants du fait des interactions liées aux interfaces. Différentes combinaisons de substrats souples et de couches minces influent souvent de diverses manières sur les résultats d'essai en fonction des conditions d'essais et de l'adhérence liée aux interfaces. L'épaisseur souhaitée d'un matériau MEMS mince est 50 fois plus mince que celle d'un substrat souple, alors que d'autres dimensions sont similaires les unes aux autres.