IEC 62047-21:2014

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

L'IEC 62047-21:2014 spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 µm.

OEN:

IEC

Langue:

French

Code(s) de l'ICS:

31.080.99

Statut:

Publié

Date de Publication:

2014-06-18

Numéro Standard:

IEC 62047-21:2014